首页 | 本学科首页   官方微博 | 高级检索  
     

片上集成三电极体系微电极阵列的表征
引用本文:吕尊实,周嘉,陈华,黄宜平,鲍敏杭.片上集成三电极体系微电极阵列的表征[J].微纳电子技术,2007(Z1).
作者姓名:吕尊实  周嘉  陈华  黄宜平  鲍敏杭
作者单位:复旦大学专用集成电路及系统国家重点实验室微电子学系 上海200433
摘    要:设计制作了片上集成三电极体系微电极阵列。工作电极分为圆形和方形两种,电极特征尺寸为100~900μm,工作电极与对电极间距为50~200μm。利用循环伏安法,在氧化还原电位探针二茂铁甲醇的作用下,对各三电极微系统进行了电极性能表征,具体分析了工作电极的形状、大小、与对电极的间距对输出特性的影响,为片上集成三电极体系的微电极阵列的设计优化提供了实际依据。

关 键 词:微电极  表征  循环伏安法

Characterization of on-Chip Three-Microelectrode-System Array
Abstract:On-chip three-microelectrode-system arrays with square and disc working electrodes were designed and fabricated.The electrode dimensions ranged from 100~ 900 μm while the distances between the working electrodes and the counting electrodes were from 50~200 μm.The arrays were characterized by cyclic voltammetry in the presence of the redox probe ferrocenemethanol.The study results provide practical data for the optimization of such on-chip three-electrode-system arrays' design in the future.
Keywords:microelectrode  characterization  cyclic voltammetry
本文献已被 CNKI 等数据库收录!
设为首页 | 免责声明 | 关于勤云 | 加入收藏

Copyright©北京勤云科技发展有限公司  京ICP备09084417号