|
|||||
|
|
| 一种新型的在线式微波功率传感器 | |
| 作者姓名： | 韩磊 黄庆安 廖小平 |
| 作者单位： | 东南大学MEMS教育部重点实验室,南京 210096;东南大学MEMS教育部重点实验室,南京 210096;东南大学MEMS教育部重点实验室,南京 210096 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金 , 装备预先研究基金 |
| 摘 要： | 提出了一种基于MEMS技术的在线式微波功率传感器结构,并对该结构进行了理论分析、设计、制作和测量.该结构通过测量由MEMS膜耦合出的一小部分微波功率实现功率的测量.该结构制作工艺与GaAs MMIC工艺完全兼容.测量结果显示,在12GHz频率以内,微波功率传感器的反射系数小于-15dB,插入损耗小于2dB,在10GHz中心频率下的灵敏度为10 4μV/mW. |
| 关 键 词： | 微波功率 功率传感器 在线式 MEMS GaAs MMIC工艺 在线式 微波功率传感器 Sensor Power Microwave Type 灵敏度 中心频率 插入损耗 反射系数 显示 测量结果 全兼容 制作工艺 GaAs MMIC 耦合 设计 分析 理论 |
| 文章编号： | 0253-4177（2007）07-1144-05 |
| 收稿时间： | 2007-01-05 |
| 修稿时间： | 2007-03-02 |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ | |