| 一种MEMS压力传感器测试分析 |
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| 引用本文： | 李盛楠,王健,赵华强,曹正宗.一种MEMS压力传感器测试分析[J].计量与测试技术,2017,44(2). |
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| 作者姓名： | 李盛楠 王健 赵华强 曹正宗 |
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| 作者单位： | 沈阳化工大学信息工程学院,辽宁 沈阳,110142 |
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| 基金项目： | 2016年“辽宁省大学生创新创业训练计划”项目201610149033 |
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| 摘 要： | MEMS压力传感器由于体积小使得工艺实现存在一定难度,样品的测试分析十分重要。本文对研制的三批样品进行测试分析,判断失效样品的制造原因,通过改进工艺,制备出符合要求样品,给出达标样品测试结果。
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| 关 键 词： | 压力传感器 测试 满量程输出 |
Measurement and Analysis of the MEMS Pressure Sensor |
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| Li Shengnan,Wang Jian,Zhao Huaqiang,Cao Zhengzong.Measurement and Analysis of the MEMS Pressure Sensor[J].Metrology and Measurement Technique,2017,44(2). |
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| Authors: | Li Shengnan Wang Jian Zhao Huaqiang Cao Zhengzong |
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