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| 非晶硅碳（a-SiC∶H）薄膜光学常数的透射谱表征 | |
| 作者姓名： | 胡志华 廖显伯 |
| 作者单位： | 中国科学院半导体研究所凝聚态物理中心表面物理国家重点实验室,中国科学院半导体研究所凝聚态物理中心表面物理国家重点实验室 北京100083,云南师范大学太阳能研究所,昆明650092,北京100083 |
| 基金项目： | 国家重点基础研究发展计划(973计划) |
| 摘 要： | 报道了一种用透射谱数据分析法计算非晶硅碳薄膜的厚度、折射率、吸收系数和光学带隙等光学常数的方法和程序．这一方法引用有效谐振子模型理论的折射率色散关系,所有公式均为解析表达式,便于进行数据处理,无须专用软件,使用Excel即可完成,适用于多种半导体薄膜材料．将这种方法应用于PECVD方法制备的非晶硅碳（a-SiC∶H）薄膜,对其光学特性进行了分析． |
| 关 键 词： | 光学常数 透射谱 非晶硅碳薄膜 |
| 文章编号： | 0253-4177(2005)01-0034-04 |
| 修稿时间： | 2003-12-20 |
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