| 砷化镓阈值电压自动测试系统的研制 |
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| 引用本文： | 朱朝嵩,夏冠群,李传海,詹琰.砷化镓阈值电压自动测试系统的研制[J].功能材料与器件学报,2001,7(4):418-422. |
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| 作者姓名： | 朱朝嵩 夏冠群 李传海 詹琰 |
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| 作者单位： | 中国科学院上海冶金研究所, |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(批准号:69676003) |
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| 摘 要： | 介绍了砷化镓阈值电压的测试原理和测试方法，并完成了φ3”砷化镓阈值电压自动测试系统的设计与研制。该系统包括自动探针台、测量设备和相应的软件。自动探针台的定位精度为10μm，分辨率为2．4μm，速度为251mm/s。阈值电压测量精度为1mV。该系统可进行φ3”砷化镓圆片的MESFET器件参数的自动测量、存储和运算，能给出圆片的阈值电压分布图。该系统还可用于大圆片的电阻率、欧姆接触电阻、背栅电压和光敏特性等的测量。
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| 关 键 词： | 阈值电压 均匀性 砷化镓 自动测试系统 |
| 文章编号： | 1007-4252(2001)04-0418-05 |
| 修稿时间： | 2000年9月20日 |
Design of GaAs threshold voltage uniformity measurement system |
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| ZHU Chao -song,XIA Guan -qun,LI Chuan -hai,ZHAN Yan.Design of GaAs threshold voltage uniformity measurement system[J].Journal of Functional Materials and Devices,2001,7(4):418-422. |
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| Authors: | ZHU Chao -song XIA Guan -qun LI Chuan -hai ZHAN Yan |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | GaAs threshold voltage uniformity |
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