| 2m比长仪测量滑板运动控制系统的实现 |
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| 引用本文： | 孙双花,叶孝佑,高宏堂,常海涛,张晓.2m比长仪测量滑板运动控制系统的实现[J].计量学报,2008,29(Z1). |
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| 作者姓名： | 孙双花 叶孝佑 高宏堂 常海涛 张晓 |
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| 摘 要： | 分析了2 m激光干涉比长仪测量滑板运动控制系统的实现方法.设计了气液联动控制机构,以气压为动力,利用气液转换器把气压转换为液压来推动活塞杆控制测量滑板的运行速度和方向,将气压控制的响应快与液压控制的速度稳定性高的特点结合起来,并结合电气系统的控制灵活性,构成了电-气-液的多级控制结构.利用多个液压回路管路直径长度的变化控制测量滑板移动的无级调速,实现了测量滑板运动方向、速度、位置的精确控制,测量速度为2μm/s～10 mm/s.系统充分发挥了电、气、液的控制优点,速度/位置控制精度高、运动平稳、可靠性好.
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| 关 键 词： | 计量学 干涉比长仪 测量滑板 电气液控制系统 无级调速 |
The Measurement of ,Slide Motion Control System of 2 m Automatic Interference Length Comparator |
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| SUN Shuang-hua,YE Xiao-you,GAO Hong-tang,CHANG Hai-tao,ZHANG Xiao.The Measurement of ,Slide Motion Control System of 2 m Automatic Interference Length Comparator[J].Acta Metrologica Sinica,2008,29(Z1). |
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| Authors: | SUN Shuang-hua YE Xiao-you GAO Hong-tang CHANG Hai-tao ZHANG Xiao |
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