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一种用于在片器件直接测量的新型SOLT校准方法
引用本文:胡江,孙玲玲.一种用于在片器件直接测量的新型SOLT校准方法[J].微波学报,2006,22(Z1).
作者姓名:胡江  孙玲玲
作者单位:1. 浙江大学信电系,杭州,310027;杭州电子科技大学CAD所,杭州,310018
2. 杭州电子科技大学CAD所,杭州,310018
摘    要:介绍了一种“针尖前移”的在片SOLT校准方法,使用这种校准方法可以将测试参考面直接校准到内部被测件,从而可以进行无去内嵌(De-embedding)操作的直接测量。通过对在片平面螺旋电感的测试验证,证明这是一种精确高效的新校准方法。

关 键 词:在片  被测件  SOLT校准  针尖前移

A Novel SOLT Calibration for Direct Measurement of On-Wafer DUTs
HU Jiang,SUN Ling-ling.A Novel SOLT Calibration for Direct Measurement of On-Wafer DUTs[J].Journal of Microwaves,2006,22(Z1).
Authors:HU Jiang  SUN Ling-ling
Abstract:The 'tip-extension' SOLT calibration,after which the measurement references plane arrive at inner-DUT,has been developed for direct measurement without de-embedding of on-wafer DUTs.The key is to characterize new SOLT standards.Verified by a spiral-inductor measurement,it is a novel calibration with more accuracy and more efficiency.
Keywords:on-wafer  DUTs  SOLT calibration  tip-extension  
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