| 纳米压痕系统中施载/扫描传感器的设计 |
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| 引用本文： | 高鹏,姚英学,袁哲俊.纳米压痕系统中施载/扫描传感器的设计[J].传感技术学报,1997,10(2):29-32. |
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| 作者姓名： | 高鹏 姚英学 袁哲俊 |
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| 作者单位： | [1]北京航空航天大学计算机系 [2]哈尔滨工业大学机械工程系 |
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| 摘 要： | 简介纳米压痕系统的基本原理及其关键部件施协传感器和扫描传感器的设计方法，最后，阐述施载／描扫集成结构的实现。
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| 关 键 词： | 传感器 纳米压痕 施载 扫描 |
The Design of Load/Scan Sensor in the System of Nanoindentation |
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| Gao Pen Yao Yingxue Yuan Zhejun.The Design of Load/Scan Sensor in the System of Nanoindentation[J].Journal of Transduction Technology,1997,10(2):29-32. |
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| Authors: | Gao Pen Yao Yingxue Yuan Zhejun |
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| Affiliation: | Dept. of Mechanical Engineering. Harbin Institute of Technology |
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| Abstract: | At first, the paper introduces briefly the basic principle of nanoindentation, then introduces the design methods of the key loading sensor and scanning sensor, finally expounds the realization of the integrated load/scan sensor. |
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| Keywords: | sensor nanoindcntalion load scan |
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