| 等离子体刻蚀对CdTe太阳电池性能的影响 |
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| 作者姓名： | 宋慧瑾 鄢强 |
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| 作者单位： | 成都大学 工业制造学院,四川 成都 610106;成都金倍科技有限 公司,四川 成都 610041 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金项目(60976052)和四川省教育厅青年科研基金(10ZB144)资助项目 (1.成都大学 工业制造学院,四川 成都 610106; 2.成都金倍科技有限 公司,四川 成都 610041) |
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| 摘 要： | 采用不同干法腐蚀条件下的CdTe薄膜制成器件, 通过I-V、C-V和光谱响应等测试 了电池性能参数。结果表明,溅 射时间太短和功率太小时不能完全去除氧化层,溅射时间过长和功率过高会对薄膜表面造成 损伤, 影响器件性能。 通 过选择器件性能较好的电池、 找出适合等离子束溅 射工艺的条件,所制成的电池转化效率 达 到10.99%;而湿法腐蚀所 制成器件的转化效率为 10.26%。由此可以认为,等离子束轰击溅射的 腐蚀方法较湿法腐蚀更适用于CdTe太阳电池的制备。
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| 关 键 词： | 等离子体 刻蚀 CdTe薄膜 太阳电池 |
| 收稿时间： | 2012-08-18 |
| 修稿时间： | 2012-09-26 |
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