| 环形叉指电极型压电鼓膜驱动器的制备及其性能测试 |
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| 引用本文： | 尹伊,曹贵川,祁康成,叶辉,詹文博.环形叉指电极型压电鼓膜驱动器的制备及其性能测试[J].光电子．激光,2013(2):226-233. |
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| 作者姓名： | 尹伊 曹贵川 祁康成 叶辉 詹文博 |
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| 作者单位： | 电子科技大学 光电信息学院,四川 成都 610054;电子科技大学 光电信息学院,四川 成都 610054;电子科技大学 光电信息学院,四川 成都 610054;浙江大学 现代光学仪器国家重点 实验室,浙江 杭州 300127;浙江大学 现代光学仪器国家重点 实验室,浙江 杭州 300127 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(60578012)和中央高校基本科研业务费(ZYGX2012J059) 资助项目 (1.电子科技大学 光电信息学院,四川 成都 610054； 2.浙江大学 现代光学仪器国家重点 实验室,浙江 杭州 300127) |
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| 摘 要： | 制备了一种基于Pb(Zr52)O3(P ZT52)材料的自适应光学用压电驱动器。驱动器采用鼓膜结构, 其工作区域由主动层—PZT52压电层和被动层—ZrO2/Si复合层两部 分构成。PZT52压电层 采用环形叉值电极(IDT)驱动。采用Si(100)单晶作为衬底,并采用 溶胶-凝胶(Sol-gel) 法在其上制备ZrO2阻挡层和PZT52压电层,其中引入PbTiO3(PT) 种子层有利 于PZT52膜层的(110)择优取向。随后在其上热 蒸镀Al顶电极,并采用光刻方法制备图形,得到的IDT电极最大环形直径为 10.5mm,电极间距为0.05mm,中心非激活区 域直径为2mm。鼓膜结构则通过对Si衬底背部 进行各向异性湿法刻蚀(ODE)得到,保留的支持层厚度为5～10μm, 直径为 12mm。测试结果表明,压电驱动器阵列单元在100kV/cm驱动下,可产生6.5μm左右的形 变量。最后利用有限元分析方法(FEM)拟合了压电驱动器单元的面型,并分析了其形变模式 产生的内部原因。
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| 关 键 词： | 自适应光学 压电鼓膜驱动器 凝胶-凝胶sol-gel法 Pb(Zr52Ti 48)O3(PZT52) 压电系数d33 |
| 收稿时间： | 2012/7/29 0:00:00 |
| 修稿时间： | 9/8/2012 12:00:00 AM |
Preparation and characterization of piezoelectric diaphragm actuator based on r ing-shaped interdigitated electrodes |
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| YIN Yi,CAO Gui-chuan,QI Kang-cheng,YE Hui and ZHAN Wen-bo.Preparation and characterization of piezoelectric diaphragm actuator based on r ing-shaped interdigitated electrodes[J].Journal of Optoelectronics·laser,2013(2):226-233. |
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| Authors: | YIN Yi CAO Gui-chuan QI Kang-cheng YE Hui and ZHAN Wen-bo |
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| Affiliation: | School of Optoelectronic Information,University of Electronic Science and Technology of China,Chengdu 610054,China;School of Optoelectronic Information,University of Electronic Science and Technology of China,Chengdu 610054,China;School of Optoelectronic Information,University of Electronic Science and Technology of China,Chengdu 610054,China;State Key Laboratory of Modern Opti cal Instrumentation,Zhejiang University,Hangzhou 300127,China;State Key Laboratory of Modern Opti cal Instrumentation,Zhejiang University,Hangzhou 300127,China |
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