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准分子激光加工表面轮廓的分形插值模拟及d值的影响
引用本文:陈志新,刘莹.准分子激光加工表面轮廓的分形插值模拟及d值的影响[J].南昌大学学报(工科版),2002,24(4):31-34,41.
作者姓名:陈志新  刘莹
作者单位:南昌大学机电工程学院,江西,南昌,330029
基金项目:江西省教育厅科技项目资助
摘    要:准分子激光加工的表面的分形特征的研究未见有报道,本文首先分析了准分子激光加工表面可以具有分形特征,说明可以用分形理论来对它进行分形分析。进而利用IFS理论模拟了某准分子激光加工表面轮廓,并给出了模拟的算法流程图,结果表明:在适当的d值下,模拟结果与实测轮廓很接近。最后探讨了不同的d值对模拟结果的重大影响及d值的确定。

关 键 词:表面轮廓  模拟  IFS  分形插值  准分子激光加工  迭代函数系统
文章编号:1006-0456(2002)04-0031-04

Fractal Interpolation Simulation of Surface Profile Processed by Excimer Laser and d Worth's Influence
CHEN Zhi-xin,LIU Ying.Fractal Interpolation Simulation of Surface Profile Processed by Excimer Laser and d Worth''''s Influence[J].Journal of Nanchang University(Engineering & Technology Edition),2002,24(4):31-34,41.
Authors:CHEN Zhi-xin  LIU Ying
Abstract:
Keywords:IFS  fractal interpolation simulation  excimer laser process
本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录!
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