超精密平面磨床主体结构动力学分析

以超精密平面磨床的主体结构（包括床身、横梁、立柱与工作台）作为研究对象，利用HYPERMESH建立各零部件的有限元模型，并在ANSYS中进行模态分析，分析得到磨床主体结构材料分别为铸铁和人造花岗岩时的前十阶模态，对这两种不同材料所制造部件的动态性能进行对比评估，从而为超精密平面磨床主体结构的材料选择提供了有用依据。