| 高压开关管排气台的研制 |
| |
| 引用本文： | 米伦,李晓勇,王远,卢少波.高压开关管排气台的研制[J].真空,2005,42(4):32-34. |
| |
| 作者姓名： | 米伦 李晓勇 王远 卢少波 |
| |
| 作者单位： | 1. 中国工程物理研究院电子工程研究所,四川,绵阳,621900
2. 北京利方达真空技术有限责任公司,北京,100029 |
| |
| 摘 要： | 由机械泵为前级泵,分子泵为主抽泵构成高真空系统,对高压开关管进行真空排气;由温度控制仪程序控制烘箱的升温和保温;通过充气系统对高压开关管进行充/放气来调节管内压力;用"高压开关管测试电源"进行"高压开关管"的高压动态老炼和性能检测.高压开关管排气台为多工位结构;空载时极限真空度优于5×10-6 Pa;烘烤温度为室温～600℃,连续可调,恒温精度优于±1%.
|
| 关 键 词： | 高压开关管 真空系统 程序控温 测试 |
| 文章编号： | 1002-0322(2005)04-0032-03 |
Research and devolopment of exhaust system for high-voltage switching tube |
| |
| Mi Lun,Li Xiao-yong,WANG Yuan,LU Sao-bo.Research and devolopment of exhaust system for high-voltage switching tube[J].Vacuum,2005,42(4):32-34. |
| |
| Authors: | Mi Lun Li Xiao-yong WANG Yuan LU Sao-bo |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | high-voltage switching tube vacuum system temperature programmed control test |
| 本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录！ |
|
