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| 三,四探针测试双极电路外延层电阻率的分析 | |
| 引用本文： | 席奎德.三,四探针测试双极电路外延层电阻率的分析[J].半导体技术,1989(4):44-48. |
| 作者姓名： | 席奎德 |
| 作者单位： | 常州半导体厂 |
| 摘 要： | 在双极电路生产中,总希望在正片上较为准确地测定外延层的电阻率.一般说来,三探针测试适用于N/N~+、P/P~+型结构的外延层的电阻率的测试;四探针适用于N/P型结构的外延层的电阻率测试.双极电路所使用的外延片,在外延之前已作有局部埋层,这就不能完好地满足三、四探针的测试条件,如果用三、四探针测试这类外延片的电阻率,总会产生不同程度的误差. |
| 关 键 词： | 双极电路 外延层 电阻率 探针 测试 |
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