|
|||||
|
|
| 当代离子注入机—设计周密的智能型离子注入机 | |
| 引用本文： | 郭敬堤.当代离子注入机—设计周密的智能型离子注入机[J].微细加工技术,1989(2):62-72. |
| 作者姓名： | 郭敬堤 |
| 摘 要： | 当代的离子注入机已不是从前那种难以驾驭的机器了;它们可以是加工过程中操作人员的工程伙伴。Piter Burggraaf,Senior Editor如果离子注入机能思维,它就应考虑到生产、工艺过程控制和自动维护的功能:它将集启动、设定和装载于一身——从操作人员那里接过这些重担。这种“会思维”的离子注入机可以控制离子加工过程中与增加产额有关的许多参数,如束扫描,圆片旋转和倾斜,圆片带 |
| 关 键 词： | 离子注入机 智能型 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |