| γ射线辐照对类金刚石薄膜结构与特性的影响 |
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| 引用本文： | 刘贵昂,谢二庆,王天民. γ射线辐照对类金刚石薄膜结构与特性的影响[J]. 功能材料, 2001, 32(3): 266-268 |
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| 作者姓名： | 刘贵昂 谢二庆 王天民 |
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| 作者单位： | 西南交通大学,应用物理系,;兰州大学,物理科学与技术学院,;北京航空航天大学,理学院, |
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| 摘 要： | 用射频等离子体方法在玻璃基底上制备了类金刚石薄膜。分析了γ射线辐照类金刚石薄膜（以下简称ＤＬＣ薄膜）的结构与特性改变。采用Ｒａｍａｎ及红外光谱进行结构分析表明：随辐照剂量的增加,在膜中出现ＳＰ３Ｃ—Ｈ及 ＳＰ２Ｃ—Ｈ 键的断裂与减少,ＳＰ３Ｃ—Ｃ键的略微增加．当辐照剂量达 １０ ×１０４Ｇｙ时,ＳＰ３Ｃ—Ｈ键减少约５０％,与此同时,出现膜中氢的重新键合,并从中释出。γ射线辐照使ＤＬＣ薄膜的电阻率呈上升趋势,膜的类金刚石特征更加明显,结构得到改善。本文对γ射线对ＤＬＣ薄膜的辐照机制进行了简要的讨论。
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| 关 键 词： | 类金刚石薄膜 γ射线辐照 SP3C-H及SP3C-C键 结构与特性 |
| 文章编号： | 1001-9731(2001)03-0266-03 |
| 修稿时间： | 2000-10-30 |
The structural and property changes of DLC films after irradiation with gamma ray |
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| LIU Gui-ang,XIE Er-qing,WANG Tian-min. The structural and property changes of DLC films after irradiation with gamma ray[J]. Journal of Functional Materials, 2001, 32(3): 266-268 |
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| Authors: | LIU Gui-ang XIE Er-qing WANG Tian-min |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | diamond-like carbon films irradiated by gamma ray SP3C-H and SP3C-C bond structure and property |
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