| 开关点电可调节的MEMS冲击加速度锁定开关 |
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| 作者姓名： | 贾孟军 李昕欣 宋朝晖 王跃林 |
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| 作者单位： | 中国科学院研究生院,上海 200050;中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室,上海 200050;中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室,上海 200050;中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室,上海 200050;中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室,上海 200050 |
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| 摘 要： | 介绍了一种基于机电耦合原理的新型冲击加速度MEMS开关.此开关的阈值开关点可以通过偏置电压的改变进行调节设置,同时具有自锁定功能.文中分析了这种开关的准静态加速度静力学平衡条件和在阶跃冲击加速度输入情况下的响应特性,并通过CoventorWare软件模拟,得到悬臂梁型开关在各种加速度输入信号(阶跃、脉冲和半正弦)情况下的瞬态响应过程.开关的实际阈值范围为1000~5000g,响应速度小于60μs.采用MEMS技术制造开关,并通过冲击加速度测试验证了设计结果.
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| 关 键 词： | MEMS 冲击加速度开关 开关点电可调节 锁定 机电耦合 开关点 调节 MEMS 冲击加速度 Function Threshold 结果 设计 测试验证 制造 响应速度 范围 响应过程 瞬态 正弦 脉冲 输入信号 梁型 悬臂 软件模拟 |
| 文章编号： | 0253-4177（2007）08-1295-07 |
| 收稿时间： | 2007-01-04 |
| 修稿时间： | 2007-03-07 |
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