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| 退火对Ti离子注入LiNbO3光波导的影响 | |
| 引用本文： | 刘大力,鲁平.退火对Ti离子注入LiNbO3光波导的影响[J].长春邮电学院学报,2000,18(2):5-7. |
| 作者姓名： | 刘大力 鲁平 |
| 作者单位： | [1]长春邮电学院通信工程系 [2]中国科学长春光学精密机械与物理研究所 |
| 摘 要： | 以高质量的ＬｉＮｂＯ３晶体为衬底，采用离子注入技术制备出低损耗的ＬｉＮｂＯ３光波导。测试了其背散射谱，并对相应的结果做了分析，为解决光波导的横向扩散问题提供了一条可行途径。 |
| 关 键 词： | 离子注入 介质光波导 退火 |
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