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矩形转鼓扫描光栅的制作工艺
作者姓名:蔡中驹  尚淑敏
作者单位:沈阳仪器仪表工艺研究所,沈阳仪器仪表工艺研究所
摘    要:本文叙述了利用现有设备制作较高精度光栅的工艺,包括试制前的准备;光栅的刻制和检验等。图6,表2。

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