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| 用MOCVD在非平面衬底上生长的量子阱、量子线及其光学性质 | |
| 引用本文： | 钱毅,郑婉华,郑联喜,张霞,胡雄伟,陈良惠,王启明.用MOCVD在非平面衬底上生长的量子阱、量子线及其光学性质[J].半导体学报,1994,15(4):289-294. |
| 作者姓名： | 钱毅 郑婉华 郑联喜 张霞 胡雄伟 陈良惠 王启明 |
| 摘 要： | 本文报道在６５０℃的衬底温度下实现了ＭＯＣＶＤ在（１００）面和（１１１）面上生长ＧａＡｓ与Ａｌ０．４Ｇａ０．６Ａｓ的不同的选择性．这一衬底温度比国际上以前报道的要低，对制作适于光电器件的ＧａＡｓ／ＡｌＧａＡｓ量子阱层比较有利．用此技术，在ＧａＡｓ非平面衬底上生长了ＧａＡｓ／Ａｌ０．４Ｇａ０．６Ａｓ量子阱，并用扫描电镜、低温光致发光谱以及偏振激发的光反射率谱技术进行了研究．结果不仅证明了ＭＯＣＶＤ外延生长ＧａＡｓ和Ａｌ０．４Ｇａ０．６Ａｓ的独特选择性，也证明了在Ｖ字形沟槽底形成了量子线． |
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