| 冷阴极电离真空计校准方法研究 |
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| 引用本文： | 刘珈彤,冯焱,赵澜,李莉,马奔,刘赐贤. 冷阴极电离真空计校准方法研究[J]. 计测技术, 2013, 33(3) |
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| 作者姓名： | 刘珈彤 冯焱 赵澜 李莉 马奔 刘赐贤 |
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| 作者单位： | 兰州空间技术物理研究所,甘肃兰州,730000 |
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| 摘 要： | 主要介绍了冷阴极电离真空计结构、工作原理及冷阴极电离真空计的校准方法和校准装置,并对校准数据进行了处理.由于冷阴极电离真空计为非线性真空计,通过比较,校准结果采用了校准曲线的方式,可提高校准的准确度,减小校准不确定度,保证真空测量的可靠性.
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| 关 键 词： | 冷阴极电离真空计 校准方法 校准装置 不确定度 校准曲线 |
Study on Calibration of Cold Cathode Ionization Vacuum Gauge |
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| LIU Jiatong , Feng Yan , Zhao Lan , LI Li , MA Ben , LIU Cixian. Study on Calibration of Cold Cathode Ionization Vacuum Gauge[J]. Metrology & Measurement Technology, 2013, 33(3) |
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| Authors: | LIU Jiatong Feng Yan Zhao Lan LI Li MA Ben LIU Cixian |
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