| PCVD法沉积Ti(CN)涂层及其抗氧化性研究 |
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| 引用本文： | 潘应君,陈淑花,吴新杰,李平生,张细菊.PCVD法沉积Ti(CN)涂层及其抗氧化性研究[J].武汉理工大学学报,2004,26(4):12-14. |
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| 作者姓名： | 潘应君 陈淑花 吴新杰 李平生 张细菊 |
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| 作者单位： | 武汉科技大学材料与冶金学院,武汉,430081 |
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| 基金项目： | 湖北省教育厅资助项目 (2 0 0 2 A 0 10 0 8) |
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| 摘 要： | 应用PCVD技术，以金属有机物TPT作钛源在H13模具钢表面沉积Ti(CN)涂层，研究了不同工艺参数对涂层组织和性能的影响，并对涂层的抗氧化性进行了试验。结果表明，采用适当的沉积温度、压力及氮气流量，可以在H13钢表面得到以Ti(CN)为主的致密涂层，在沉积温度500℃时达到最高硬度HV1760，涂层在600℃以下具有良好的抗氧化性。
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| 关 键 词： | PCVD Ti（CN）涂层 抗氧化性 |
| 文章编号： | 1671-4431(2004)04-0012-03 |
| 修稿时间： | 2003年12月3日 |
Study of Ti(CN) Layer and Anti-oxidation Property Deposited by PCVD |
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| PAN Ying-jun,CHEN Shu-hua,WU Xin-jie,LI Ping-sheng,ZHANG Xi-ju.Study of Ti(CN) Layer and Anti-oxidation Property Deposited by PCVD[J].Journal of Wuhan University of Technology,2004,26(4):12-14. |
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| Authors: | PAN Ying-jun CHEN Shu-hua WU Xin-jie LI Ping-sheng ZHANG Xi-ju |
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| Keywords: | PCVD Ti(CN) layer anti-oxidation property |
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