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纳米三坐标测量机的精度设计
引用本文:王琦,陈晓怀,杨洪涛,金飞翔.纳米三坐标测量机的精度设计[J].工具技术,2006,40(7):71-73.
作者姓名:王琦  陈晓怀  杨洪涛  金飞翔
作者单位:1. 合肥工业大学仪器科学与光电工程学院,230009,合肥市
2. 合肥工业大学
摘    要:利用现代精度设计思想,根据纳米三坐标测量机的结构设计,分析了影响其精度的各项误差源,提出所需检定仪器的具体技术指标;根据给定的精度指标设计合理的精度分配方案,精度设计的结果满足纳米三坐标测量机的测量精度要求。

关 键 词:纳米三坐标测量机  精度设计  误差源分析
收稿时间:2005-11
修稿时间:2005-11

Accuracy Design of Nano-CMM
Wang Qi, Chen Xiaohuai ,Yang Hongtao et al.Accuracy Design of Nano-CMM[J].Tool Engineering(The Magazine for Cutting & Measuring Engineering),2006,40(7):71-73.
Authors:Wang Qi  Chen Xiaohuai  Yang Hongtao
Affiliation:Wang Qi Chen Xiaohuai Yang Hongtao et al
Abstract:The error sources affecting precision of the Nano-CMM are analyzed, and the needed nanometer level calibrating instruments' technical index are put forward by using advanced accuracy design philosophy and the structure design of Nano-CMM. The reasonable error distributing design are done according to the given accuracy target and the result of accuracy design can meet the required measuring accuracy of the Nano-CMM.
Keywords:Nano-CMM  accuracy design  analysis of error source
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