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| 掺硼金属膜热敏电阻器的制备工艺及温度响应 | |
| 引用本文： | 贾宇明,杨邦朝.掺硼金属膜热敏电阻器的制备工艺及温度响应[J].电子科技大学学报（自然科学版）,1996,25(3):268-270. |
| 作者姓名： | 贾宇明 杨邦朝 |
| 摘 要： | 介绍了一种帽状结构的掺硼金刚石膜敏电阻器及其制备工艺。使用ＰＣＶＤ方法在Ｓｉ４Ｎ４或Ｓｉ基片上淀积掺硼金刚石膜膜，然后在金刚石膜上淀积Ｔｉ／Ａｕ薄膜形成欧姆接触电极。结果获得了具有良好温度响应和欧姆接触的金刚石膜热敏电阻器。 |
| 关 键 词： | 掺硼金刚石膜 热敏电阻器 温度响应 制备工艺 |
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