| 聚二甲基硅氧烷柔性基材上应力-激光复合制备直角微沟槽 |
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| 引用本文： | 谢凯武,李泽斌,邓宇,张璆,钟世裕,蔡俊劲,常磊鑫.聚二甲基硅氧烷柔性基材上应力-激光复合制备直角微沟槽[J].高分子材料科学与工程,2022,38(3):106-112+121. |
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| 作者姓名： | 谢凯武 李泽斌 邓宇 张璆 钟世裕 蔡俊劲 常磊鑫 |
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| 作者单位： | 广东工业大学机电工程学院,广东广州510006 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(500180089)； |
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| 摘 要： | 聚二甲基硅氧烷(PDMS)是一种应用广泛的柔性材料。文中在PDMS表面制备了直角微沟槽，分析了直角微沟槽的形貌。结合PDMS的柔性特点，开展了预应力下纳秒激光制备PDMS表面直角微沟槽实验。结果表明，微沟槽两侧的微裂纹随着激光扫描速度的增大(100～600 mm/s)开始出现随后逐渐变小，微沟槽的几何形貌随扫描速度发生改变，其深度最大值为43.14μm、最小值为8.41μm，其宽度最大值为111.41μm、最小值为16.18μm，且直角微沟槽的内外侧形貌存在差异；调整预应力角度可以调控微沟槽两侧微裂纹的走向、微沟槽的几何形貌和扫描路径的偏移。应力辅助是一种调控表面形貌，辅助PDMS表面微纳加工实现功能化的简便方法。
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| 关 键 词： | 应力辅助 纳秒激光加工 微裂纹调控 表面形貌 微沟槽 |
Stress-Laser Composite Fabrication of Right-Angle Microgrooves on Polydimethylsiloxane Flexible Substrate |
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| Kaiwu Xie,Zebin Li,Yu Deng,Qiu Zhang,Shiyu Zhong,Junjin Cai,Leixin Chang.Stress-Laser Composite Fabrication of Right-Angle Microgrooves on Polydimethylsiloxane Flexible Substrate[J].Polymer Materials Science & Engineering,2022,38(3):106-112+121. |
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| Authors: | Kaiwu Xie Zebin Li Yu Deng Qiu Zhang Shiyu Zhong Junjin Cai Leixin Chang |
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