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外差干涉定位系统中的锁相跟踪方法
引用本文:朱维斌,朱善安,叶树亮.外差干涉定位系统中的锁相跟踪方法[J].光电工程,2014,41(5):34.
作者姓名:朱维斌  朱善安  叶树亮
作者单位:朱维斌:浙江大学电气工程学院, 杭州 310027中国计量学院计量测试工程分院, 杭州 310018
朱善安:浙江大学电气工程学院, 杭州 310027
叶树亮:中国计量学院计量测试工程分院, 杭州 310018
基金项目:国家质检总局公益性行业科研专项(201210001-3);国家自然科学基金(50705090)
摘    要:以外差干涉定位系统为研究对象,提出一种基于锁相跟踪的定位方法,简化了传统定位系统结构;就整个定位系统的工作过程及原理进行了说明,证明了锁相跟踪方法的可行性;讨论了系统工作过程中的核心功能环节的实现方法,分别对高频信号的发生、移相脉冲抑制以及鉴相过程进行详细说明。本文就鉴相电路功能和干涉锁相跟踪定位系统的输出进行了测试实验,实验结果证明高频鉴相电路输出准确度达到0.07o,锁相跟踪系统定位输出的合成不确定度为10.1 nm。

关 键 词:外差干涉  锁相  定位  相位差  鉴相
收稿时间:2013/10/30

Phase Locked Positioning Method in Heterodyne Interferometer System
Abstract:
Keywords:heterodyne interferometer  phase locked  position  phase difference  phase demodulation
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