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应用材料推出钨平坦化技术,打造先进芯片设计
摘    要:
应用材料公司(APPlied Materials)宣布.成功将Applied ReflexionR GT化学机械研磨(CMP)系统,延伸至钨膜平坦化技术。

关 键 词:应用材料公司  平坦化  芯片设计  技术  钨膜  化学机械研磨
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