| 一种用于分析接触电阻对OTFT的性能影响的新方法研究 |
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| 引用本文： | 陈金伙,胡加兴,朱云龙.一种用于分析接触电阻对OTFT的性能影响的新方法研究[J].半导体学报,2012,33(12):124005-5. |
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| 作者姓名： | 陈金伙 胡加兴 朱云龙 |
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| 基金项目： | 福建省自然科学基金（2009J05146） |
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| 摘 要： | 一种通用的，可用于分析OTFT接触电阻对OTFT性能影响的模型具有重要意义，但这至今尚未见报道。为此本文通过引进一个关键参数Rc/Rch0 （接触电阻/通态电阻），并以模拟方法分析它与各性能参数变化率关系，从而使上述模型得到部分实现。研究中首先拓展了OTFT的Brown模型公式，接着分析了接触电阻导致的各性能参数（迁移率μ，饱和电压 VDsat等）误差变化情况。接着根据所得到结果，对关键参数Rc/Rch0重点进行了分析和论证，获得一个非常有意义的结果，在此基础上，一种估算OTFT内在接触电阻，进而修正因接触电阻导致的各性能参数误差值的方法被首次提出。实验证明该方法具有合理性。
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| 关 键 词： | OTFT 数值分析 欧姆接触 误差分析 |
| 修稿时间： | 9/29/2012 2:34:42 AM |
A novel method to analyze the contact resistance effect on OTFTs |
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| Chen Jinhuo,Hu Jiaxing and Zhu Yunlong.A novel method to analyze the contact resistance effect on OTFTs[J].Chinese Journal of Semiconductors,2012,33(12):124005-5. |
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| Authors: | Chen Jinhuo Hu Jiaxing and Zhu Yunlong |
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| Affiliation: | School of Physics & Information Engineering, Fuzhou University, Fuzhou 350108, China;School of Materials Science & Engineering, Xi'an Jiaotong University, Xi'an 710049, China;School of Materials Science & Engineering, Xi'an Jiaotong University, Xi'an 710049, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | OTFT numerical study Ion/Ioff ohmic contact error analysis |
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