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| 半绝缘多晶硅在高可靠大功率硅开关三极管中的应用 | |
| 引用本文： | 张京俊,邹秋芝.半绝缘多晶硅在高可靠大功率硅开关三极管中的应用[J].电子工艺技术,1994(4):16-18,21. |
| 作者姓名： | 张京俊 邹秋芝 |
| 作者单位： | 哈尔滨晶体管厂 |
| 摘 要： | 介绍了掺氧半绝缘多晶硅（Ｏ一ＳＩＰＯｓ）及掺氮半绝缘多晶硅（Ｎ一ＳＩＰＯＳ）薄膜的制备方法，生长条件及其在高可靠大功率开关三极管３ＤＫ１０６中的应用，以及主要电参数的测试结果，并且对本工艺所带来的特点进行了初步分析。 |
| 关 键 词： | 半绝缘多晶硅 大功率 开关晶体管 |
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