溅射PZT薄膜的晶体结构和快速热处理 |
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引用本文: | 徐梅娣,郭懋端.溅射PZT薄膜的晶体结构和快速热处理[J].真空科学与技术,1996,16(3):223-226. |
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作者姓名: | 徐梅娣 郭懋端 |
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摘 要: | 采用常温射频(RF)溅射法和快速热处理相结合的技术,在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上,制备出具有铁电性的PZT薄膜。研究了快速热处理工艺条件对PZT薄膜性能的影响。通过Z射线衍射法、SEM和AES等方法,分析了PZT薄膜的晶体结构、微结构、薄膜和电极间的界面效应。
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关 键 词: | 溅射法 PZT 铁电 薄膜 热处理 |
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