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| Mg掺杂ZnO薄膜的结构及其光学性能研究 | |
| 引用本文： | 郭瑞,李东临,王芳平,王怡,武光明,邢光建.Mg掺杂ZnO薄膜的结构及其光学性能研究[J].真空,2010,47(5). |
| 作者姓名： | 郭瑞 李东临 王芳平 王怡 武光明 邢光建 |
| 作者单位： | 1. 北京化工大学材料科学与工程学院,北京,100029;北京石油化工学院,北京,102617 2. 北京石油化工学院,北京,102617 3. 北京化工大学材料科学与工程学院,北京,100029 |
| 基金项目： | 北京教育委员会科技计划项目 |
| 摘 要： | 利用射频磁控溅射技术在(100)Si和玻璃衬底上沉积系列Mg掺杂ZnO(x=0~0.20)薄膜,XRD分析结果表明,Zn1-xMgxO薄膜均为六角纤锌矿结构,薄膜呈现出c轴择优生长特性,但随着x值的增加,晶格常数c逐渐减小。当x=0.20时,薄膜出现(100)面衍射峰,薄膜的c轴择优生长特性减弱。SEM分析表明,x=0.10时,薄膜表面平坦光滑,晶粒大小均匀,结构更加致密,结晶质量最佳。紫外可见光透射光谱表明,Mg的掺入提高薄膜在可见光范围内的透过率;同时增大了薄膜的禁带宽度;室温PL谱分析显示所有薄膜均出现了紫外发射峰和蓝光发射带,且紫外发射峰和蓝光发光带都随x值的增加而蓝移。 |
| 关 键 词： | Zn1-xMgxO薄膜 射频磁控溅射 禁带宽度 透过率 |
Investigation on structural and optical properties of Mg-doped ZnO thin films |
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| GUO Rui,LI Dong-lin,WANG Fang-ping,WANG Yi,WU Guang-ming,XING Guang-jian.Investigation on structural and optical properties of Mg-doped ZnO thin films[J].Vacuum,2010,47(5). | |
| Authors: | GUO Rui LI Dong-lin WANG Fang-ping WANG Yi WU Guang-ming XING Guang-jian |
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| Keywords: | |
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