| 掺杂室沉积本征微晶硅材料及其在太阳能电池中的应用 |
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| 作者姓名： | 孙福河 张晓丹 赵颖 王世峰 韩晓艳 李贵军 魏长春 孙建 侯国付 张德坤 耿新华 熊绍珍 |
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| 作者单位： | [1]南开大学光电子薄膜器件与技术研究所,天津300071 [2]南开大学光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室,天津300071 [3]光电信息技术科学教育部重点实验室（南开大学,天津大学）,天津300071 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划);国家重点基础研究发展计划(973计划);国家自然科学基金;科技部国际科技合作项目 |
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| 摘 要： | 在掺杂P室采用甚高频等离子体增强化学气相沉积（VHF—PECVD）技术,制备了不同硅烷浓度条件下的本征微晶硅薄膜．对薄膜电学特性和结构特性的测试结果分析表明：随硅烷浓度的增加,材料的光敏性先略微降低后提高,而晶化率的变化趋势与之相反;X射线衍射（xRD）测试表明材料具有（220）择优晶向．在P腔室中用VHF—PECVD方法制备单结微晶硅太阳能电池的i层和p层,其光电转换效率为4．7％,非晶硅／微晶硅叠层电池（底电池的p层和i层在P室沉积）的效率达8．5％．
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| 关 键 词： | 甚高频等离子体增强化学气相沉积 本征微晶硅 太阳能电池 |
| 文章编号： | 0253-4177(2008)05-0855-04 |
| 修稿时间： | 2007-10-05 |
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