| 镍酸镧导电薄膜的热处理制度与电性能研究 |
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| 引用本文： | 陆维,郑萍,孟中岩.镍酸镧导电薄膜的热处理制度与电性能研究[J].功能材料与器件学报,2004,10(2):200-204. |
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| 作者姓名： | 陆维 郑萍 孟中岩 |
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| 作者单位： | 上海大学材料科学与工程学院,上海,201800;上海大学材料科学与工程学院,上海,201800;上海大学材料科学与工程学院,上海,201800 |
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| 基金项目： | 国家自然科学资金资助项目(No.59982005) |
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| 摘 要： | 研究了镍酸镧(分子式LaNiO3，简称LNO)导电薄膜的制备，及其与性能之间的关系。实验结果表明热处理制度和热处理过程中通氧是LNO薄膜获得良好电性能的关键。实验发现LNO薄膜在退火温度5500C时就已经晶化，并且随着退火温度的升高，薄膜电性能也随之提高，但是当温度高于860℃后，LNO薄膜发生了结构相变并伴有NiO的析出，因此导致了薄膜电阻率的升高。较短的预处理时间和较长的退火处理时间有助于薄膜晶粒的长大，从而提高薄膜的电性能。同时也讨论了LNO薄膜电阻率和工作温度的关系。
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| 关 键 词： | LaNiO3 热处理 薄膜 电阻率 |
| 文章编号： | 1007-4252(2004)02-0200-05 |
| 修稿时间： | 2003年9月15日 |
Properties of LaNiO3 thin films deposited on Si (100) substrates by sol -gel method |
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| LU Wei,ZHENG Ping,MENG Zhong-yan.Properties of LaNiO3 thin films deposited on Si (100) substrates by sol -gel method[J].Journal of Functional Materials and Devices,2004,10(2):200-204. |
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| Authors: | LU Wei ZHENG Ping MENG Zhong-yan |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | LaNiO_3 thermal treatment thin film resistivity |
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