进口金刚石薄刀片的剖析

七十年代后期,国外在集成电路生产中,已广泛在砂轮划片机上用金刚石薄刀片切取硅片中的合格管芯,其收得率高,硅片的切缝细而平直,边缘爆裂较小,从而可提高硅片的利用率。进口的刀片早期为镍青铜-金刚石刀片(以下简称铜片),七八年后多为镍-金刚石刀片(以下简称镍片),两者均为环状(～φ50.8×40.0毫米),厚度为20～50微米;目前进口的多为25微米的镍-金刚石刀片。在本工作末期,又见到固结在砂轮划片机刀片夹具上的镍-金刚石整体刀片。据国外厂商声称,镍片的性能较铜片优越。