| 静电梳齿驱动器薄膜变形反射镜 |
| |
| 引用本文： | 闫金良.静电梳齿驱动器薄膜变形反射镜[J].半导体光电,2005,26(1):19-21. |
| |
| 作者姓名： | 闫金良 |
| |
| 作者单位： | 烟台师范学院,物理系,山东,烟台,264025 |
| |
| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划) |
| |
| 摘 要： | 提出一种大冲程静电梳齿驱动器微机械薄膜变形反射镜,理论上研究了静电梳齿驱动器微机械薄膜变形反射镜的静电驱动力和变形位移与驱动电压的关系,分析了变形反射镜的驱动稳定性,比较了平板电容驱动器与纵向梳齿驱动器的驱动能力.结果表明,变形反射镜的静电驱动力和变形位移没有关系;在相同的面积下,纵向梳齿驱动器的驱动力比平板电容驱动器的驱动力大很多.
|
| 关 键 词： | 自适应光学 薄膜变形镜 静电力驱动 静电 梳齿驱动器 微机械薄膜 变形反射镜 Mirrors Deformable Membrane Actuator 面积 结果 驱动能力 平板电容 比较 动稳定性 分析 关系 驱动电压 变形位移 驱动力 研究 |
| 文章编号： | 1001-5868(2005)01-0019-03 |
| 修稿时间： | 2004年5月19日 |
Electrostatic Comb Actuator Membrane Deformable Mirrors |
| |
| YAN Jin-Liang.Electrostatic Comb Actuator Membrane Deformable Mirrors[J].Semiconductor Optoelectronics,2005,26(1):19-21. |
| |
| Authors: | YAN Jin-Liang |
| |
| Abstract: | New microelectromechanical membrane deformable mirror concepts have been demonstrated, which use electrostatic comb actuator to produce large stroke. Some research have been made theoretically on electrostatic actuating force and membrane deflection versus applied voltage, an on the stable actuation for microelectromechanical electrostatic comb actuator membrane deformable mirrors. The actuating forces of electrostatic parallel plate capacitor actuators and vertical electrostatic comb actuator are compared. The theoretical results show that the electrostatic actuating force is independent of deflection, the actuating force of vertical comb actuators is greater than that of parallel plate capacitor actuators at the same section. |
| |
| Keywords: | adaptive optics membrane deformable mirror electrostatic actuation |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
|
