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微型红外瓦斯浓度传感器的设计
引用本文:张渤.微型红外瓦斯浓度传感器的设计[J].煤炭技术,2014(9):313-315.
作者姓名:张渤
作者单位:西安科技大学通信与信息工程学院
基金项目:陕西省教育厅2013年科学研究计划项目:自然科学专项(2013JK0864)
摘    要:设计了一种基于微镜阵与非色散红外瓦斯气体传感原理的长光程微型红外瓦斯气体浓度传感结构,该结构在有限面积内形成可靠光路,并可通过光纤网络连接和复用技术形成准分布式检测网络。该传感器不受外界电磁干扰,不会产生传感头催化剂中毒现象,具有较高的可靠性和稳定性等优点,适合井下长期监测和应急救援极端环境使用。

关 键 词:红外瓦斯传感器  微机电  非色散红外光

Design of Micro NDIR Methane Sensor Based on MEMS Mirror
ZHANG Bo.Design of Micro NDIR Methane Sensor Based on MEMS Mirror[J].Coal Technology,2014(9):313-315.
Authors:ZHANG Bo
Affiliation:ZHANG Bo;College of Communication and Information Engineering,Xi’an University of Science and Technology;
Abstract:The micro methane sensor structure is proposed based on non-dispersive infrared(NDIR)spectrum absorption characterization of methane gas to avoid poisoning catalyst gas concentration detection.Infrared methane gas detection makes the signal basically without external interference,and will not produce toxic sensing head catalyst phenomenon,has advantages of high reliability and stability,which is particularly suitable for the coal mine emergency rescue and other harsh environment.
Keywords:infrared methane gas sensor  MEMS  non-dispersive infrared
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