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ZnO纳米结构的CVD制备工艺及其应用
引用本文:孟华,梁建,赵君芙,赵国英.ZnO纳米结构的CVD制备工艺及其应用[J].材料导报,2011,25(3).
作者姓名:孟华  梁建  赵君芙  赵国英
作者单位:太原理工大学材料科学与工程学院,太原,030024
基金项目:山西省回国留学人员科研资助项目,山西省回国留学人员重点资助项目
摘    要:纳米结构的ZnO由于具有优异的光、电、磁、声等性能,已经成为光电、化学、催化、压电等领域中聚焦的研究热点之一.不同纳米结构的ZnO其制备方法不同,着重概述了采用化学气相沉积(CVD)工艺制备ZnO纳米材料,包括直接热分解、高温加热锌粉、碳热还原法以及金属有机气相沉积(MOCVD)4种方法,重点讨论了不同锌源和氧源对ZnO纳米结构的影响规律,并初步探讨了ZnO的VLS与VS生长机理,同时展望了ZnO在各领域中的最新应用.

关 键 词:ZnO纳米结构  CVD法  生成机理  应用

Studies of ZnO Nanostructures Synthesized by CVD and Its Applications
MENG Hua,LIANG Jian,ZHAO Junfu,ZHAO Guoying.Studies of ZnO Nanostructures Synthesized by CVD and Its Applications[J].Materials Review,2011,25(3).
Authors:MENG Hua  LIANG Jian  ZHAO Junfu  ZHAO Guoying
Abstract:
Keywords:
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