微型计算机控制椭圆偏振测厚仪 |
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引用本文: | 徐能,王慧,阮金佐.微型计算机控制椭圆偏振测厚仪[J].物理测试,1985(1). |
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作者姓名: | 徐能 王慧 阮金佐 |
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作者单位: | 上海钢铁研究所,上海钢铁研究所,上海钢铁研究所 |
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摘 要: | 一、概况我所使用的椭圆偏振仪是上海金山仪表电器厂生产的。该仪器原理参见图1。起偏器P和检偏器A是由步进马达带动的,1/4波长片固定在45°角。反射光较强时用裸眼通过反光镜直接观察光的强弱变化,光较弱时,通过光电倍增管转换成电流信号,经直流放大器放大由μA表指示。测试时,轮流
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