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微型计算机控制椭圆偏振测厚仪
引用本文:徐能,王慧,阮金佐.微型计算机控制椭圆偏振测厚仪[J].物理测试,1985(1).
作者姓名:徐能  王慧  阮金佐
作者单位:上海钢铁研究所,上海钢铁研究所,上海钢铁研究所
摘    要:一、概况我所使用的椭圆偏振仪是上海金山仪表电器厂生产的。该仪器原理参见图1。起偏器P和检偏器A是由步进马达带动的,1/4波长片固定在45°角。反射光较强时用裸眼通过反光镜直接观察光的强弱变化,光较弱时,通过光电倍增管转换成电流信号,经直流放大器放大由μA表指示。测试时,轮流

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