聚焦集成电路核心装备用精密碳化硅结构件

<正>集成电路产业(即IC产业)是关乎国家经济、政治和国防安全的战略产业,在IC产业中,集成电路核心装备具有极其重要的战略地位。自20世纪90年代起,国家"十五""十一五""十二五"发展规划中均将光刻机等集成电路核心装备列入国家科技重大专项。在集成电路核心装备中,关键零部件具有举足轻重的作用,要求结构件材料具有高纯度、高致密度、高强度、高弹性模量、高导热系数及低热膨胀系数等特点,且结构件要具有极高的尺寸精度和结构复杂性。