| 纳米氧化钛薄膜湿敏元件的电学特性研究 |
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| 引用本文： | 宋丽丽,李巴津,史志铭,侯燕飞. 纳米氧化钛薄膜湿敏元件的电学特性研究[J]. 仪表技术与传感器, 2009, 0(4) |
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| 作者姓名： | 宋丽丽 李巴津 史志铭 侯燕飞 |
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| 作者单位： | 内蒙古工业大学,内蒙古呼和浩特,010051 |
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| 摘 要： | 采用溶胶-凝胶法在印有梳状电极的石英玻璃表面涂覆氧化钛纳米薄膜制备湿敏元件,利用LCR测量仪测量薄膜各电学参数随温度、湿度和频率的变化,并分析其复阻抗特性.结果表明:500 ℃烧结得到的薄膜元件感湿性能较好;相对湿度高于40%时,元件的阻抗模值随着湿度的增大而减小;复阻抗特性表现为半圆形.
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| 关 键 词： | TiO2薄膜 电学性能 复阻抗曲线 |
Electrical Properties of Nanometer Titania Tilm Humidity Elements |
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| SONG Li-li,LI Ba-jin,SHI Zhi-ming,HOU Yan-fei. Electrical Properties of Nanometer Titania Tilm Humidity Elements[J]. Instrument Technique and Sensor, 2009, 0(4) |
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| Authors: | SONG Li-li LI Ba-jin SHI Zhi-ming HOU Yan-fei |
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