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| 200单元硅基单压电变形镜的设计与测试 | |
| 引用本文： | 马剑强,刘莹,陈俊杰,李保庆,褚家如.200单元硅基单压电变形镜的设计与测试[J].光学精密工程,2014,22(8):2047. |
| 作者姓名： | 马剑强 刘莹 陈俊杰 李保庆 褚家如 |
| 作者单位： | 马剑强:宁波大学 机械工程与力学学院，浙江 宁波 315211 刘莹:中国科学技术大学精密机械与精密仪器系，安徽 合肥 230027 陈俊杰:中国科学技术大学精密机械与精密仪器系，安徽 合肥 230027 李保庆:中国科学技术大学精密机械与精密仪器系，安徽 合肥 230027 褚家如:中国科学技术大学精密机械与精密仪器系，安徽 合肥 230027 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(No.11303019);中国博士后科学基金资助项目(No.2013M531521);浙江省自然科学基金资助项目(No.LQ13E050016) |
| 摘 要： | 针对天文望远镜对变形镜的需求,设计了200单元级硅基单压电变形镜并对其进行了性能测试。首先,通过有限元方法对单压电变形镜进行结构建模,分析比较了电极排列形式和边界支撑方式对变形镜性能的影响。然后,制备了3款200单元变形镜样机(环形简支,环形固支,六边形简支)。最后,利用干涉仪测量了变形镜的影响函数,并通过激光多普勒测振仪测量其频响特性。仿真与实验结果表明:致动器在50V电压下变形量可达1μm,固支条件下谐振频率在1kHz左右,对前100项Zernike像差具有良好的校正能力。该变形镜在低成本天文自适应光学系统中具有应用潜力。 |
| 关 键 词： | 压电变形镜 硅基变形镜 自适应光学 天文望远镜 |
| 收稿时间： | 2013/11/18 |
Design and performance testing of 200-element silicon unimorph deformable mirror |
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| Abstract: | |
| Keywords: | piezoelectric deformable mirror Si-based deformable mirror adaptive optics telescope |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |