| 多晶硅太阳电池扩散工艺影响因素分析 |
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| 引用本文： | 刘丹娟,何伟.多晶硅太阳电池扩散工艺影响因素分析[J].电源技术,2012,36(12):1830-1832. |
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| 作者姓名： | 刘丹娟 何伟 |
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| 作者单位： | 新余学院,江西新余338004;江西省高等学校硅材料重点实验室,江西新余338004 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目，国家自然科学基金资助项目，江西省自然科学基金资助项目，江西省教育厅科技项目，新余学院校级招标项目 |
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| 摘 要： | 工业生产中普遍采用液态三氯氧磷(POCl3)作为多晶硅太阳电池的扩散磷源。研究了各种工艺参数对扩散方块电阻的大小及均匀性的影响。结果表明:提高扩散温度、增加主扩散时间、减小再分布时间、增加小氮流量、减小大氮流量,可以减小方块电阻;合理设置炉管内的温度分布、适当增加大氮流量,可以改善方块电阻的均匀性;氧气流量对方块电阻影响不大。得到了一组优化的扩散工艺参数,测得方块电阻为55.1Ω/□,片内极差为5.6%,片间极差为3.1%。
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| 关 键 词： | 太阳电池 扩散 方块电阻 均匀性 |
Influence factors in diffusion technology of multicrystalline silicon solar cells |
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| LIU Dan-juan
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HE Wei.Influence factors in diffusion technology of multicrystalline silicon solar cells[J].Chinese Journal of Power Sources,2012,36(12):1830-1832. |
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| Authors: | LIU Dan-juan HE Wei |
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| Affiliation: | 1,2(1.Xinyu University,Xinyu Jiangxi 338004,China; 2.Key Laboratory of Jiangxi University for Silicon Materials,Xinyu Jiangxi 338004,China) |
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