|
|||||
|
|
| 基于激光干涉与电容传感复合校准技术的纳米微动台分辨力评价方法研究 | |
| 作者单位： | 中国计量大学计量测试工程学院,浙江杭州310018;中国计量科学研究院,北京100029;深圳中国计量科学研究院,广东深圳518132;中国计量科学研究院,北京100029 |
| 基金项目： | 国家重点研发计划;国家质量基础的共性技术研究与应用专项 |
| 摘 要： | |
| 关 键 词： | 计量学 分辨力校准 激光干涉仪 电容传感器 纳米微动台 |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ | |
|
||||||||||||||||||
|
||||||||||||||||||
|
||||||||||||||||||
|
|
|
|
| 设为首页 | 免责声明 | 关于勤云 | 加入收藏 |
|
Copyright©北京勤云科技发展有限公司 京ICP备09084417号 |