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| 含稀土元素的LSI渗硼剂渗硼扩散激活能 | |
| 引用本文： | 贲永志.含稀土元素的LSI渗硼剂渗硼扩散激活能[J].物理测试,2001(2):8-9. |
| 作者姓名： | 贲永志 |
| 作者单位： | 燕山大学信息科学与工程学院 |
| 摘 要： | 将40钢试样在含稀土元素的LSI渗硼剂中行进不同温度和时间的渗硼，然后用金相法测定层深，根据公式p^2=K0te-Q/RT，对硼的激活能做了计算，经果表明，与未含稀土元素的LSI渗硼剂相比，激活能降低了21%。 |
| 关 键 词： | 稀土 渗硼剂 渗硼 激活能 |
| 修稿时间： | 2000年11月9日 |
Activation Energy of Seeping Boron of LSI Adding Boron with RE |
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| Abstract: | |
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