| 小F数标准球波面透镜组的F'C重合误差分析 |
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| 引用本文： | 高志山.小F数标准球波面透镜组的F''C重合误差分析[J].中国激光,2004,31(7). |
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| 作者姓名： | 高志山 |
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| 基金项目： | 国防科技应用基础研究基金 |
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| 摘 要： | 标准球波面透镜组是光干涉计量测试凸、凹球面面形质量的重要测量器具,它能产生p-V值优于λ/20(λ=0.6328μm)的标准球面波,透镜组中末球面为标准球面.其使用特点要求透镜组的焦点F'与末面球心C重合;如果存在重合误差,则用于球面面形检验时会引入测量系统误差.推导分析了F'C的允许重合误差与透镜组F数等参量的关系,运用ZEMAX光学设计软件模拟给出系列小F数标准球波面透镜组允许的F'C重合误差,并设计实验测试方案,得到反映标准球波面透镜组F'C重合误差的干涉图,它们的波像差均小于5λ.由理论分析与实验测试结果可知,F数很小(如F/1.5,F/0.75)的标准球面透镜组,F'C重合误差小于0.03 mm,甚至达到微米量级.
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| 关 键 词： | 光学技术与仪器 误差分析 光学设计 球波面 干涉仪 |
Analysis of Coincidence Tolerance between F'and C for the Transmission Spheres with Small F-Number |
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