| 固贴式薄膜体声波谐振器性能受压电材料的影响分析 |
| |
| 引用本文： | 鄂羽佳,陆晓欣,王建东,朱嘉琦.固贴式薄膜体声波谐振器性能受压电材料的影响分析[J].真空与低温,2019(5):336-341. |
| |
| 作者姓名： | 鄂羽佳 陆晓欣 王建东 朱嘉琦 |
| |
| 作者单位： | 哈尔滨工业大学 |
| |
| 基金项目： | 国家自然科学基金(51072039,51222205);教育部新世纪人才项目(NCET-10-0070) |
| |
| 摘 要： | 利用MathCAD软件对固贴式薄膜体声波谐振器(SMR-FBAR)器件建立数学模型进行仿真,分析了不同压电薄膜材料和厚度,不同电极材料和厚度对FBAR器件谐振特性的影响。采用射频磁控溅射方法制备氮化铝(AlN)薄膜,利用扫描探针显微镜中的压电力显微镜(PFM)模块对AlN薄膜的压电性能进行了测试。得到主要结论为:复合FBAR的谐振频率因为增加了电极厚度因素相比理想FBAR的谐振频率偏低;压电材料的机电耦合系数对器件带宽起决定性作用,器件的机电耦合系数正比于材料的机电耦合系数;AlN具有较高的压电系数,可以有效提升器件性能,增大带宽,适合作为压电薄膜材料;采用小尺寸压电薄膜和电极厚度有益于提高器件的频率。
|
| 关 键 词： | 固贴式薄膜体声波谐振器 压电薄膜 磁控溅射 压电系数 |
Analysis of The Performance of Solidly Mounted Film Bulk Acoustic Resonator by Piezoelectric Materials |
| |
| E Yujia,LU Xiaoxin,WANG Jiandong,ZHU Jiaqi.Analysis of The Performance of Solidly Mounted Film Bulk Acoustic Resonator by Piezoelectric Materials[J].Vacuum and Cryogenics,2019(5):336-341. |
| |
| Authors: | E Yujia LU Xiaoxin WANG Jiandong ZHU Jiaqi |
| |
| Affiliation: | (Harbin Institute of Technology,Harbin 150001,China) |
| |
| Abstract: | E Yujia;LU Xiaoxin;WANG Jiandong;ZHU Jiaqi(Harbin Institute of Technology,Harbin 150001,China) |
| |
| Keywords: | solidly mounted film bulk acoustic resonator piezoelectric film magnetron sputtering piezoelectric coef -ficient |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ |
