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| 微型硅加速度传感器 | |
| 引用本文： | 王永录,李兴凯,单光宝. 微型硅加速度传感器[J]. 电子元器件应用, 2003, 5(4): 16-17,48 |
| 作者姓名： | 王永录 李兴凯 单光宝 |
| 作者单位： | 西安微电子技术研究所，陕西西安710054 |
| 摘 要： | 介绍微型硅加速度传感器的研制概况，阐述微型硅电容式加速度传感器的工作原理、制作工艺技术，并对封装后的测试结果进行分析与探讨。 |
| 关 键 词： | 微型硅加速度传感器 工作原理 封装 测试 武器 |
Microminiature Si Acceleration Sensor |
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