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| 基于ZnO/SiO2/Si多层结构瑞利波的特性研究 | |
| 作者姓名： | 贾之杰 王艳 张淑仪 徐静 谢英才 水修基 |
| 作者单位： | （1.南京邮电大学 电子科学与工程学院,江苏 南京 210046; 2.南京大学 声学研究所 近代声学实验室,江苏 南京 210093） |
| 基金项目： | 国家青年科学基金资助项目(11304160);江苏省高校自然科学基金资助项目(13KJB140008);南京邮电大学基金资助项目(NY213018) |
| 摘 要： | 利用射频(RF)磁控溅射法沉积(002)ZnO薄膜和SiO_2薄膜于Si基底,研制(002)ZnO/IDT/SiO_2/Si结构的声表面波延迟线,并通过3D有限元法仿真分析该结构所激发的瑞利波的声学特性,如相速度、机电耦合系数k~2等。通过实验验证,发现二者吻合较好。分析了ZnO薄膜的厚度对瑞利波特性的影响发现,当ZnO厚为8μm时,k~2取得最大值(为3.88%)。同时,分析了(110)ZnO/IDT/SiO_2/Si结构所激发瑞利波的声学特性,结果显示,当ZnO薄膜的厚为8μm时,k~2取得最大值(为5.5%)。 |
| 关 键 词： | 瑞利波 氧化锌(ZnO) 有限元仿真 相速度 机电耦合系数 |
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