| 用于能量收集器的不锈钢基PZT厚膜制备研究 |
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| 引用本文： | 崔林,王士军,陈伟,张临松.用于能量收集器的不锈钢基PZT厚膜制备研究[J].压电与声光,2018,40(4):604-607. |
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| 作者姓名： | 崔林 王士军 陈伟 张临松 |
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| 作者单位： | （山东理工大学 机械工程学院，山东 淄博255049） |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金青年基金资助项目（51505265） |
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| 摘 要： | 采用了溶胶 凝胶技术在不锈钢基体上制备了厚为10 μm、结构致密的锆钛酸铅(PZT)厚膜。研究了不同退火条件对厚膜结晶状况的影响，X射线衍射分析表明,采用700 ℃退火处理20 min后得到了PZT厚膜的纯钙钛矿相结构。厚膜的电学性能测试结果显示，厚膜的剩余极化强度（Pr）为7.5 μC/cm2， 矫顽场强（Ec）为7.2 V/μm，压电常数（d33）为73 pC/N。设计制作了长20 mm、宽4 mm的压电悬臂梁结构振动能量收集器。输出性能测试结果显示，振动频率为95 Hz，采集器输出电压最高，输出电压值为862 mV。
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| 关 键 词： | 锆钛酸铅(PZT) 厚膜 溶胶 凝胶法 电学性能 振动能量收集器 |
Investigation on Fabrication of Stainless Steel Based PZT Thick Film for Energy Harvester |
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| CUI Lin,WANG Shijun,CHEN Wei,ZHAN Linsong.Investigation on Fabrication of Stainless Steel Based PZT Thick Film for Energy Harvester[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2018,40(4):604-607. |
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| Authors: | CUI Lin WANG Shijun CHEN Wei ZHAN Linsong |
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| Affiliation: | (School of Mechanical Engineering, Shandong University of Technology,Zibo 255049,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | lead zirconate titanate(PZT) thick films Sol Gel method electrical property vibration energy harvester |
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