| 一种检测薄膜晶体管液晶屏的自动对焦方法 |
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| 引用本文： | 姜钧,程良伦,黄帅.一种检测薄膜晶体管液晶屏的自动对焦方法[J].激光与红外,2010,40(12):1358-1363. |
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| 作者姓名： | 姜钧 程良伦 黄帅 |
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| 作者单位： | 广东工业大学控制科学与工程系,广东,广州,510006 |
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| 基金项目： | 广东省教育部产学研项目（No.2007A090302071）； 广东省教育部产学研项目（No.2009B090300242）资助 |
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| 摘 要： | 针对大尺寸TFT-LCD(第五代到第八代)生产检测过程中要求成像系统成像速度快、精度高的情况，研究快速的显微镜自动对焦方法。提出一种间接清晰度评价函数和一种用于TFT-LCD玻璃板检测的显微镜自动对焦的方法，采用一个激光器和一个黑白CMOS相机作为辅助手段，通过寻找CMOS相机最大的通光率的值确定CCD相机对焦最好的目标点，在此基础上，通过求取CMOS相机获得图片中的激光光斑质心并查表确定镜头调节的方向和距离。实验结果表明，对于放大倍率为5倍至50倍的物镜，当玻璃板在焦平面上下正负50 μm范围内进行自动对焦时，对焦时间在0.4 s以内，重复对焦精度可达到景深的0.1～0.5倍以内。
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| 关 键 词： | 成像系统 自动对焦 通光率 光斑质心 对焦时间 |
Method of auto-focus for TFT-LCD test |
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| JIANG Jun,CHENG Liang-lun,HUANG Shuai.Method of auto-focus for TFT-LCD test[J].Laser & Infrared,2010,40(12):1358-1363. |
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| Authors: | JIANG Jun CHENG Liang-lun HUANG Shuai |
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| Affiliation: | Department of Control Science and Engineering,Guangdong University of Technology,Guangzhou 510006,China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | imaging systems auto-focus rate of pass-ray spot centroid focus time |
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